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面议class10级无尘烘箱,洁净度达class10级,晶圆片烘烤定制无尘烘箱
面议充氮洁净烘箱PHH-120
工作尺寸(mm): W500×H600×D400
外形尺寸(mm): W820×H1270×D600
功率:6.5KW
性能特点:
◆全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
◆耐高温,可以达到和工作场同样的地洁净等级;
技术参数:
1. 送风方式:强制送风循环。
2. 温度范围:RT+10℃~250℃。
3. 温度波动:<±0.5℃。
4. 温度均匀:±1.5% 。
依测规范:测SENSOR置放点,离内箱壁内尺寸1/10处。
5. 温控装置:P.I.D智能温控仪表, LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。
温控输出:SSR输出,欧姆龙继电器,固态继电器。
测温装置:1支PT100 铂 电阻温度传感装置,测温精确。
定时装置:HS48S-99.99定时仪表。
气体控制装置:氮气流量计,氮气进出口,氮气过滤器,可把气体过滤到CLASS 100。
6. 内室材料:采用SUS304#无磁性镜面不锈钢;
7. 外壳材质:外箱采用SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE) 。
8. 保温材质:硅酸铝。
9. 特质复合式SUS304#不锈钢电热产生器。
10.保护装置:超温保护器,马达过载保护器,蜂鸣器,故障指示灯,无熔丝开关。