LBIC光束诱导电流成像系统采用振镜扫描技术，对样品表面做快速扫描。产生的光电流信号通过探针引到源表，再显示在软件界面，用三维图显示样品表面在同一个光强下电流分布，以此推算样品的光电转换均匀性和材料的缺陷分布。

光束诱导电流成像系统是用于检测材料光电流强度分布的专用设备，主要用来测量光电材料的光电响应信号和表征材料的光电特征。光束诱导电流成像系统将光电材料对于光信号响应的不均匀性以可视化和量化的方式显示出来。该系统可以研究光电探测器的量子效率，器件的电阻分布特征，研究太阳能电池光生电流的不均匀性，研究器件吸收和电荷生成的微区特性， 以及光电材料界面，半导体结区的品质分布等。

整个系统的结构包含光源（激光器或者连续光源），显微镜，扫描振镜，数字源表，探针台和计算机软件等。激光通过扫描透镜，扫描振镜，成像透镜，经过显微镜聚焦到样品表面，激光激发样品产生光电流，光电流信号通过探针引出至源表， 再通过电脑在软件中读出，扫描时振镜是通过电压控制器控制光束的偏转角度，激光的光斑在样品的XY 方向上扫描移动， 软件记录每一个激光聚焦光斑的位置和其对应的电流值，在软件上同步描绘出光电流成像图，显示样品的电流分布。
 

 LBIC光束诱导电流成像测试系统产品特点

• 多路激光波长可选
• 样品位置二维可调，实现快速换样
• 整体探针位置二维可以移动，方便测试样品的不同位置
• 样品在静止情况下实现mapping扫描，消除电移台的震动的影响
• 可视化和人性化软件（测试区间位置通过框图的方式选取，实现了可视范围即扫描范围）

 应用领域

• 纳米材料
• 二维材料
• 晶圆分析
• 探测器光电性能检测
• 面阵探测器pixel检测
• 器件电荷生成的微区特性
• ……

LBIC光束诱导电流成像测试系统基本参数
 

探针台模块

软件测试样品图示