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超纯低压手动隔膜阀 DLM
DLM系列超纯低压手动隔膜阀适用于半导体行业高纯气体低压工况下的输送，产品在采用紧凑设计的同时，实现高CV值。在高标准的洁净室内生产，EP电解抛光处理内表面，粗糙度可达Ra≤5μin。每个产品都需要经过氦质谱泄漏测试，从而保障应用安全性。
材料
阀体：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR
阀座：PCTFE/PFA/PI
膜片：钴基超级合金、Hastelloy C-22、SS316L
使用温度
PCTFE: -10~80℃
PFA/PI: -10~150℃
使用压力：300psi（20.7Bar）
阀体内漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He
阀体外漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He
规格 | 1/4” | 3/8” | 1/2” | 3/4” |
CV值（流量系数） | 0.27 | 0.27-0.7 | 0.7 | 1.7 |
内表面粗糙度
Ba：Ra≤10μin（0.25μm）
EP级：Ra≤5μin （0.13μm）
连接选择：VCR公头、VCR母头、卡套接头、对焊管接头
| 编码 | 两端接头 | A(mm) | B(mm) | C(mm) | D(mm) | E(mm) | F(mm) | G(mm) |
| DLM04M | 1/4"VCR公头 | 57 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06M | 3/8"VCR公头 | 77 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08M | 1/2"VCR公头 | 77 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12M | 3/4"VCR公头 | 107 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
| DLM04F | 1/4"VCR母头 | 70.6 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06F | 3/8"VCR母头 | 83 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08F | 1/2"VCR母头 | 83 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12F | 3/4"VCR母头 | 179.2 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
| DLM04T | 1/4"卡套接头 | 48 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06T | 3/8"卡套接头 | 64 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08T | 1/2"卡套接头 | 64 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12T | 3/4"卡套接头 | 126 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
| DLM04W | 1/4"对焊 | 54 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06W | 3/8"对焊 | 69 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08W | 1/2"对焊 | 69 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12W | 3/4"对焊 | 156 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
