臭氧灭菌柜，又称臭氧发生器。臭氧发生器是用于制取臭氧气体（O3）的设备。臭氧易于分化无法储存，需现场制取现场使用（特殊的情况下可进行短时间的储存），所以凡是能用到臭氧的场所均需使用臭氧发生器。臭氧发生器在饮用水，污水，工业氧化，食品加工和保鲜，医药合成，空间灭菌等领域广泛应用。 臭氧灭菌柜发生的臭氧气体可以直接使用，也可以通过混合设备和液体混合参加反应使用高压电离(或化学、光化学反应)，使空气中的部分氧气分化聚合为臭氧，是氧的同素异形改变进程;亦可使用电解水法取得。臭氧的不稳定性使其很难完成瓶装储存 ，一般只能使用臭氧发生器现场生产，随产随用，臭氧发生器主要有三种：高压放电式、紫外线照耀式、电解式。