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一、概述
ME-L 是一款科研级全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪，凝聚了颐光科研团队在椭偏技术多年的投入，其采用行业前沿的创新技术，具备 1 全穆勒矩阵测量技术， 2 双旋转补偿器同步控制技术，3 超级消色差补偿器设计技术，4 纳米光栅表征测量技术 等技术。可应用于各种各向同性/异性薄膜材料膜厚、光学纳米光栅常数以及一维/二维纳米光栅材料结构的表征分析，代表当今椭偏行业高精尖技术水平。
■ 双旋转补偿器(DRC)配置一次测量全部穆勒矩阵16个元素；
■ 配置自动变角器、五维样件控制平台等优质硬件模块；
■ 软件交互式界面配合辅助向导式设计，易上手、操作便捷；
■ 丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力
二、产品特点
■ 采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)；
■ 可实现穆勒矩阵数据处理，测量信息量更大，测量速度快、数据更加精准；
■ 基于双旋转补偿器配置，可一次测量获得全穆勒矩阵的16个元素，相对传统光谱椭偏仪可获取更加丰富全面测量信息；
■ 颐光核心技术确保在宽光谱范围内，提供优质稳定的各波段光谱；
■ 数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料；
■ 集成对纳米光栅的分析，可同时测量分析纳米结构周期、线宽、线高、侧壁角、粗糙度等几何形貌信息；
使用颐光科技椭偏仪系列产品，（部分）提及并标注“Eoptics Technology”文献信息： ✽ "Giant in-plane optical and electronic anisotropy in tellurene: a quantitative exploration." Nanoscale(2022).单位：华中科技数字装备制造国家重点实验室，通讯作者：谷洪刚，刘世元 等 ✽ "Enhanced light emission of quantum dot films by scattering of poly(zinc methacrylate) coating CdZnSeS/ZnS quantum dots and high refractive index BaTiO3 nanoparticles." ACS Nano (2020).单位：南方科技大学，通讯作者：孙小卫 等 ✽ "High performance flexible organic photomultiplication photodetector based on ultra-thin silver film transparent electrode." Nanotechnology (2020).单位：太原理工大学，通讯作者：崔艳霞 等 ✽ "Layer-Dependent Dielectric Function of Wafer-Scale 2D MoS2." Advance Optical Materials (2018).单位：华中科技大学数，通讯作者：刘世元 等 ✽ "Ellipsometric study of the complex optical constants of a CsPbBr3 perovskite thin film." Journal of Materials Chemistry C(2017).单位：山东大学，通讯作者：连洁 等 ✽"High-Performance Polymer Tandem Solar Cells Employing a New n-Type Conjugated Polymer as an Interconnecting Layer." Advance Materials(2016).单位：华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室，通讯作者：叶轩立，黄飞 等 |
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