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一、概述
SE-L 是一款全自动高精度光谱椭偏仪,配置全自动测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜的表征分析。
■ 高精度自动测量光学椭偏测量解决方案;
■ 全自动变角、调焦等控制平台,一键快速测量;
■ 软件交互式界面配合辅助向导式设计,易上手、操作便捷;
■ 丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大数据分析能力
二、产品特点
■ 采用氘灯和卤素灯复合光源,光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm);
■ 高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置,实现Psi/Delta光谱数据高速采集;
■ 全自动椭偏测量技术,基于行业电机控制技术,自动调整测量角度,高精度控制台,实现样件快速自动对准找焦;
■ 数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料;
■ 数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料;
三、产品应用
■ 半导体薄膜结构:介电薄膜、金属薄膜、高分子、光刻胶、硅、PZT膜,激光二极管GaN和AlGaN、透明的电子器件等;
■ 新材料,新物理现象研究:材料光学各向异性,电光效应、弹光效应、声光效应、磁光效应、旋光效应、Kerr效应、Farady效应等;
■ 平板显示:TFT、OLED、等离子显示板、柔性显示板等;
■ 光伏太阳能:光伏材料(如Si3N4、Sb2Se3、Sb2S3、CdS等)反射率,消光系数测量,膜层厚度及表面粗糙度测量等;
■ 功能性涂料:增透型、自清洁型、电致变色型、镜面性光学涂层,以及高分子、油类、Al2O3表面镀层和处理等;
■ 生物和化学工程:有机薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子层、薄膜吸附、表面改性处理等;
■ 块状材料分析:固体(金属、半导体、介质等)或液体(纯净物或混合物)的折射率n和消光系数k表征,玻璃新品研发和质量控制等。
建议配件
温控台 | Mapping扩展模块 | 真空泵 | 透射吸附组件 |
技术规格