系统参数：

◆原理: 非接触、三维白光扫描干涉仪

◆扫描装置: 闭环反馈压电陶瓷，高线性电容传感器

◆视场:标准配置：0.04-16mm，跟物镜和放大倍率有关,运用图像拼接技术可以得到更大范围

◆视场放大倍率：高质量分立放大倍率镜头：0.5X,0.75X,1X（标配），1.5X,2.0X

◆光源: 均匀成像，高效率，特殊设计长寿命白光LED

◆物镜座标配:可快速装卸单物镜夹具

◆控制 :滤光板托架，视场光阑（辅助聚焦）

◆测量阵列:标配1024×1024 像素；可选分辨率：512×512，1024X160像素

◆样件观察: 专用液晶显示屏实时观察

◆精密聚焦 :电控手动和自动聚焦

◆Z 轴驱动:直流无刷微步进电机驱动，100mm 行程,0.1μm 精度

◆尺寸:系统尺寸：151×73×61cm ，NewView：75×64×56cm，隔振平台：76X61X61mm

◆重量 :系统重量：约229Kg

◆输入电压: 100-240VAC,50/60 Hz

◆计算机: 带液晶显示器的高性能DELL 计算机

◆软件:ZYGO MX软件

◆物镜座: 标配：可快速装卸单物镜夹具,选配：手动4位塔台和电动4位塔台

◆物镜：1X，2X，2.75X，5.5X，10X，20X，50X，100X。

◆塔台:手动6位塔台；电控 64位塔台；

◆样品台:俯仰(±4°)和XY 平移(100mm)和电动/俯仰(±4°)和XY 平移(150mm)电动可选

◆纵向扫描范围:150μm，拓展扫描模式可到20mm,

◆纵向分辨率 ＜0.1nm,横向分辨率 0.34μm（100X物镜下）

◆扫描速度 ≤96μm/sec,与所选的CCD 和扫描模式有关

◆大数据点: 标准307200；可选984064；

◆RMS 重复性 ＜0.01 nm， RMSσ

◆台阶测量：准确度 ≤ 0.75% ;重复性≤ 0.1% @ 1σ

◆倾斜表面测量：光滑表面55度，散射表面86度。

◆测样品特性:各种材料的表面：透明，不透明，镀膜,非镀膜，反射，弱反射

◆反射率: 0.5-99%

◆大尺寸: 89×203×203mm(高×宽×长);