系统：

◆测量功能：精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前

◆测量技术：DynaPhase动态测量技术；可选模式：机械相移测量（PSI）

◆校准系统：

◆动态模式：DyanaPhase 对准向导校准；

◆移相模式：快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)

◆对准视场范围FOV ：±3°

◆测量光束直径： 4″（102mm）

◆光学中心线 ：4.25″（108mm）

◆激光光源：大功率稳定氦-氖激光，IIIa 级

◆波长： 633 nm

◆频率稳定度： < 0.0001 nm

◆相干长度 ：＞100m

◆成像分辨率：1200 x 1200 像素

◆帧速：50Hz（600 x 600 像素：82Hz）

◆数据模式：10位

◆放大：电控塔台切换，1X,1.7X,3X

◆偏振：接近圆偏振（1.2：1或者更好）

◆光曈调焦范围： ±2m

◆无线遥控：聚焦，放大，校准控制；遥控范围：15m

◆计算机和软件：高性能DELL PC ， Windows7 ， 64 位， ZYGO MetroproTM X软件

◆安装构造：水平卧式或垂直立式

◆附件：参考ZYGO 激光干涉仪附件向导文件，OMP-0463

◆尺寸(长x宽x高) ：60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.)；带移相器长度增加9cm（3.6in.）

◆重量 ：≤80lb（36 Kg）；带移相器增加10lb（5kg）

◆电源 ：100-240VAC，50/60Hz

◆保修期 ：2年

技术参数：

◆RMS重复性：< 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

◆RMS波前重复性：

动态模式: < 1.0 nm,λ/600 (mean + 2σ)

移相模式: < 0.25 nm,λ/2500 (mean + 2σ)

◆像素峰值偏差：

动态模式:< 2.0 nm, λ/300 (99.5th %)

移相模式: < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

◆条纹分辨率：

动态模式：250 条纹（每种放大倍率）

移相模式：500条纹（每种放大倍率）

◆曝光时间 ：12usec（小）

◆数据采样速度： ≤82幅数据图像/秒

◆LivePhaseTM ：Zernike拟合分析的实时相位信息

◆相位影像 记录≤82幅/秒过程中的信息，可存储为AVI格式文件和保留原始数据文件

◆外部影像：触发器 TTL信号