系统：

◆测量功能：精密测量各种反射面和光学系统的表面形貌及特性

◆测量方法：激光3维相移干涉法

◆测量功能：精密测量各种不同反射面或光学面的形貌及特性

◆测量光束直径：4″(102 mm)和6″(152 mm)

◆配置：水平式,立式向下或立式向上

◆光学中心线 ：4.25″(108 mm)

◆对准系统 ：快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)

◆放大范围： 6:1（非连续式放大，低失真）

◆调整可视范围：4″: ±3° 6″: ±2 °

◆光曈调焦范围：-800 mm/+1600 mm， 4″孔径

◆样件观察：计算机实时显示/单独监视器

◆计算机： DELL PC；配有硬盘，光驱，17英寸液晶彩显,可选配打印机

◆软件： Microsoft?? Windows XP专业版下运行的ZYGO MetroProTM 软件

◆尺寸(高x宽x长)：水平式4″: 308 x 694 x 308 mm，水平式6″: 308 x 992 x 308 mm，立式: H x 686x686 mm

激光：

◆类型： II 级 氦-氖激光

◆波长： 632.8 nm

◆通光孔径输出功率：≤ 1 mw

◆光束偏振态 ：圆偏振，可选线偏振开关

◆相干长度： ＞100 m

样件特性：

◆材质 ：各种不同的玻璃、超精加工金属、陶和塑料

◆预处理 ：无需特殊处理，非接触、非破坏性测量，在现场环境中操作。

◆样件大小(高x宽x长)：254 x 203 x 203 mm （带2轴调整架）

◆样件重量： ≤22.7 Kg （带2 轴调整架）

◆反射率 ：0.1% - 99%

性能参数：

◆3平板测量重复性：λ/300 (2σ )

◆RMS 重复性：2 λ/10,000 (2σ)

◆数据采样： 640x480 像素,8位，可选：1K x 1K像素

◆分辨率： >λ/8,000

◆条纹分辨率：180条纹

◆数据采样时间：低分辨率(7幅数据图像):93 ms，高分辨率(13幅数据图像):173 ms

环境要求：

◆温度 ：15°C-30°C(60°F-95°F)

◆温度变化率： <1.0°C/15min

◆湿度 ：相对湿度5% - 95% , 无凝结

◆防震： 需要隔离1-120Hz的震动