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OLS5000激光器共焦光学显微镜可侧量亚μm级的外貌和粗糙度。数据收集比宾得之前的光学显微镜型号规格快四倍，进而进一步提高了生产率。
405纳米技术蓝紫色激光器和专用型高数值孔径物镜能够捕获传统式光学显微镜、白光干涉仪或鲜红色激光器光学显微镜无法发觉的细致纹路和缺点。
简易剖析作用可仅在特定检测范围内准确测量楼梯、图形界限、粗糙度、总面积和容积。自动识别准确测量結果变化的缘故（如容积剖析中参照平面图的边沿部位和阀值）让准确测量結果长期保持，不会受到操作工专业技能水准的危害。
智能化辨别解决可在高质量统计数据精密度的状况下全自动清 除准确测量噪音，而智能化地面找平作用可检测零高宽比部位的主平面（参照平面图）。简易一次点一下就能起动二项工作中。
