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采用磁控型电极,限度地减轻对样品的损坏。
项目 | 说明 | |
---|---|---|
放电 | 类型 | 磁控二极管放电型(电场垂直于磁场) |
电极组成 | 反向平行盘(嵌入磁铁) | |
电压 | 0.4 kV DC(直流可变) | |
电流 | 40 mA DC | |
喷镀速率 *1() [条件] 压力:7 Pa 放电电流:40 mA 标靶与样品表面之间的距离:20 mm | Pt 靶(选配件) | 15 nm/min |
Pt-Pd 靶(选配件) | 20 nm/min | |
Au 靶(选配件) | 35 nm/min | |
Au-Pd 靶(选配件) | 25 nm/min | |
样品尺寸 | 直径 | φ60 mm |
高度 | 20 mm | |
机械泵 | 135/162 l/min (50/60Hz) | |
靶材*2 | Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4) | |
电源要求 | 单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m) | |
尺寸 | 宽度 | 450 mm |
长度 | 391 mm | |
高度 | 390 mm | |
重量 | 主机:约 25 kg 机械泵:约 28 kg |