光电轮廓仪
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上海荆和分析仪器有限公司
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WGL光电轮廓仪的产品介绍仪器由倒置式改为正置式,更符合人们的操作习惯;应用CMOS代替CCD,省去图象卡并提高了质量;用低压电源代替高压电源,节省了仪器成本;用国产的代替德国进口压电陶瓷,解决了关键部件的进口难题;增加了自动步距和亮度校正程序,同时增加了局部放大三维立体图功能;
WGL光电轮廓仪的参数表面微观不平深度测量范围:130?1nm 测量的重复性:sRa≤0.5nm 测量精度:8nm 物镜倍率:40X 数值孔径:0.65 仪器视场 目视:f0.25mm 摄象:0.13X0.13mm仪器放大倍数 目视:500X 摄象(计算机屏幕观察):2500X 接收器测量列阵:1000X1000 象素尺寸:5.2X5.2?m
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