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SK日本进口新泻DL-SXY水平缺口角度计
面议日本进口新泻DL-mXY角度计平面度测量
面议新泻SK日本进口角度DL-S4W水准仪
面议SK新泻日本进口角度DL-S3水准仪
面议SK新泻日本进口Levelnic DL-S2W系列角度计
面议日本进口新泻SK水准仪DL-m4
面议日本进口新泻SK水准仪DL-m5/DL-m5W
面议日本进口新泻 Levelnic L 型 DL-m3LS角度计
面议日本进口SK新泻水准仪DL-S1
面议日本进口凯特KETT成分分析仪 AN-820
面议日本进口yamamoto山本渡金型号500G晶圆电镀设备
面议日本进口yamamoto山本渡金A-21氯化镍冲击分析仪
面议进口RGL JOINT质量流量控制器GF80
・可以在不停止设备运行的情况下轻松更改气体类型和流量。
• 可以在不损失精度的情况下更改满刻度值。
・无需为每个规格保留库存。
・诊断功能可以检测主机的异常。
・MultiFlo™技术
・保证零点稳定性的温度补偿电路
・与传统型号的高兼容性
・橡胶密封或金属密封
・各种数字通信、ProFibus、RS485的各种模拟I/O(4-20mA、0-20mA、0-5vdc),
具有专用服务端口的诊断功能,方便更改气体类型和流量值
您可以轻松操作多气体和多流量软件,只需将其下载到您的 PC 并将其连接到 MFC,而无需将其从管道上拆下。
用法 | ||
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规格表 | |||||
流速 | 控制器 | 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 当量 | |||
仪表 | 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 当量 | ||||
准确性 | ±1%SP (35-FS) ±0.35%FS (2-35%FS) | ||||
再现性 | <±0.2%SP | ||||
环境温度范围 | 5-50℃ | ||||
外部泄漏率 | GF40 1×10 -10 Pa・m3 / s He GF80 1×10 -11 Pa・m3 /s He | ||||
输入/输出 | 0-5VDC, 4-20mA, 0-20mA |