一、HMDS真空烤箱，光刻HMDS预处理烘箱技术参数：

电源电压：AC 220V±10%/50Hz±2%

输入功率：2400W

控温范围：室温+10℃-250℃

温度分辨率：0.1℃

温度波动度：±0.5℃

达到真空度：133Pa

容积：90L

工作室尺寸（mm）：450*450*450（可选择）

载物托架：2块

时间单位：min

二、HMDS真空烤箱，光刻HMDS预处理烘箱特点：

1、 采用科研级不锈钢316L材质制造，内胆为不锈钢316L；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。

2、 箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。

3、 微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。

4、 智能化触摸屏控制系统配套进口PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。

5、 HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。

6、 整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用100 级光刻间净化环境。