晶圆精密循环烤箱，硅片循环烘箱概述

晶圆精密循环烤箱，硅片循环烘箱是一种高功能、高信赖度烤箱，结构、材质强度、保温、循环风道等均设计精良，且外形美观、操作方便。空气循环系统为水平式循环送风，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，如此可得到较佳的温度均匀性，均匀度可达±1.5％，当门开、关动作引起扰动时，可借此送风循环系统迅速回复操作状态温度值。

用途

精密循环烤箱适用于烘烤有化学性气体欲烘烤物品、基板应力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。广泛使用于PCB、电子、电机、通讯、电镀、塑料、五金化工、印刷、喷涂、玻璃、陶瓷等的精密烘烤、高温去应力、老化、烘干、定型、加工等。

参数   

Ø  内置强制送风循环，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部， 且将使用后热风吸入风道成为风源再度循环加热，由此减小能量损耗并保证箱内的温度均匀性，当门 开、关动作 引起扰动时，可借此送风循环系统迅速回复操作状态温度值，配置可调进出气口，风路循环顺畅，换气快，避免可燃气体的浓度过高造成自燃爆炸。   

Ø  马达为中国台湾进口长轴耐高温型                         

Ø  超高温保护：当箱内温升异常时，自动切断整机电源。           

Ø  瓷质保险丝。           

Ø  马达过热保护：防止电机过热造成电机损伤，           

Ø  相序保护：防止电力缺相和相序错误，保证电机的安全。         

Ø  计时器，蜂鸣器提示，保证工作时间的准确。