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产品名称:三厘SANKING牌PPH气动隔膜阀 品牌:三厘/SANKING 气动执行器材质:全塑
气动执行类型:单作用常闭,隔膜阀配置:EPDM隔膜片,
产品尺寸:1/2”~2",DN15~DN50,20mm~63mm;
标准:国标(DIN);
产品颜色:本体(浅黄色);(LD: 138 ,6012 , 2398)
产品尺寸图:
三厘SANKING牌PPH气动隔膜阀
一、 气动隔膜阀是一种利用空气动力来驱动的开关,具有快速、安全、可靠、易于维护等优点,在半导体行业中被广泛应用于各种工艺气体、液体、真空等管路中。这里介绍气动隔膜阀的工作原理、特点及在半导体行业中的应用。
二、气动隔膜阀的特点
1. 结构简单:气动隔膜阀的结构紧凑,体积小,易于安装和维护。
2. 密封性好:膜片与阀板之间的密封采用软密封结构,密封性能好,能够有效地防止气体和液体泄漏。
3. 动作灵敏:气动隔膜阀的驱动机构采用气动方式,动作灵敏,可以实现快速开关。
4. 适用范围广:气动隔膜阀适用于各种工艺气体、液体、真空等管路中,具有广泛的应用范围。
5. 安全性高:气动隔膜阀采用膜片作为密封件,能够有效地避免物料卡死或粘结现象,提高了设备的安全性。
6. 维护方便:气动隔膜阀的维护非常方便,只需要定期清洗和更换膜片即可。
三、气动隔膜阀在半导体行业中的应用,在半导体行业中,气动隔膜阀被广泛应用于各种工艺气体、液体、真空等管路中,以下是几个典型的应用场景:
1. 工艺气体管路:在半导体制造过程中,需要使用各种工艺气体,如氮气、氧气、氢气等。气动隔膜阀能够快速、准确地控制这些气体的流量和压力,为生产提供稳定的工艺环境。
2. 液体管路:在半导体制造中,各种化学试剂和超纯水需要通过管道进行输送。气动隔膜阀可以控制液体的流量和压力,确保输送过程的稳定性和安全性。
3. 真空管路:半导体制造过程中需要进行真空处理,如薄膜沉积、干法刻蚀等。气动隔膜阀可以在真空系统中起到开关和调节作用,保证设备的正常运行。
4. 尾气处理系统:在半导体制造过程中会产生各种废气,如酸气、有机废气等。气动隔膜阀可以控制尾气处理系统的阀门开关,实现废气的收集和处理。
5. 晶圆传送系统:半导体制造中的晶圆需要经过多个工艺步骤之间的传递。气动隔膜阀可以控制晶圆传送系统的气体管道,确保晶圆在传送过程中的稳定性和清洁度。
四、总结,气动隔膜阀作为一种快速、安全、可靠、易于维护的开关设备,在半导体行业中得到了广泛应用。它具有结构简单、密封性好、动作灵敏、适用范围广、安全性高和维护方便等特点,为半导体制造过程中的工艺控制和设备安全提供了有力保障。随着半导体技术的不断发展,气动隔膜阀在未来有重要作用。