北京松信宏泽科技有限公司

：潘女士

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VSM系列超高真空真空计

典型应用：
·分析仪器
·涂料厂和气相沉积
·真空炉
·过程工程
·测量和控制超高真空
·溅射厂

优点：
·传感器测量范围广Pirani/cold cathode
·Pirani自动控制冷阴极传感器
·Pirani传感器可以保证冷阴极在低压时的正常操作，延长使用寿命
·传感器结实耐用
·测量单元体积小，例如VSM77D是9CM3
·良好的启动装置
·空气入侵不影响测量
·两个独立、浮动电位继电器开关
·LED显示仪器状态和开关点
·传感器可更换
·Pirani和冷阴级传感器的不同气体的校正因子可以校准压力读数
·可以连接Thyracont公司生产的2通道或4通道的显示器VD12/VD10
·RS485接口和其它模拟输出信号1.819-8.6V或EtherCAT
·通过按键或接口调整零点和大气压
·LCD显示（VSM77DL，VSM79DL）
·如果出现错误，屏幕闪烁红色，正常工作状态是绿色（VSM77DL，VSM79DL）
·和PLC连接方便
·数字输出信号可以远程传输（zui远距离500米)
·波特率9.6kBd到115kBd
·金属外壳，结实耐用
·通过不锈钢小法兰DN 25 ISO-KF或conflat法兰DN 40 CF-F真空连接

尺寸mm

技术参数
传感器          Pirani/inverted magnetron（依据气体不同）
真空接触材质    不锈钢1.4307、镍，钨，钼，玻璃，陶瓷
测量范围        1000到5×10-9mbar（750到5×10-9torr），zui大过压4bar
精度            1000到10mbar:<30%读数
                10到2×10-3mbar:<10%读数
                2×10-3mbar到1×10-8mbar:<25%读数
重复性          ±2%读数（10到1×10-2mbar）
                ±7%读数（1×10-2到1×10-8mbar）
响应时间        200ms
阴极电压        zui大2.5kV
供电电压        20到30VDC
电气连接        VSM77D/DL,VSM79D/DL:SubD,15pol.,male,lockable
                VSM77E,VSM79E:M12圆形接头,female,lockable
                1x标准A,5针,2x密码D,4针
电流            zui大3W，同时0.8Wf.EtherCAT/继电器/LCD
操作温度        5到60℃
存储温度        -40到65℃
zui高烘烤温度    法兰（电气分离）上的温度160℃
输出信号        0到10VDC，测量范围1.819-8.6VDC，log.，0.6V/等级
                负载电阻>10KΩ(VSM77D/DL,VSM79D/DL)
串行接口        RS485:9.6kBd到115kd，开关地址1-16
开关点          2个开关继电器，50VAC/2A,30VDC/2A,zui大60VA
真空连接        DN 25 ISO-KF（VSM77),DN 40 CF-F（VSM79)
防护等级        IP54（VSM77E,VSM79E),IP40(VSM77D/DL,VSM79D/DL)
重量            约555克

订货代码：
·VSM77D
真空计Pirani/inverted magnetron，1000到5×10-9mabr，DN 25 ISO-KF连接，输出0-10V 和RS485
·VSM77DL
同VSM77D，带LCD显示
·VSM77E
同VSM77D，RS485输出和EtherCAT
·VSM79D
真空计Pirani/inverted magnetron，1000到5×10-9mabr，DN 40 CF-F连接，输出0-10V 和RS485
·VSM79DL
同VSM79D，带LCD显示
·VSM79E
同VSM79D，RS485输出和EtherCAT

配件：
·W1515002
带VD12和VD10的真空计VSM77D/DL和VSM79D/DL的连接线，线长2米
·W1515006
同W1515002，线长6米
·W1515020
同W1515002，线长20米
·B_VSM77
传感器探头，DN 25 ISO-KF，f.VSM77
·B_VSM79
传感器探头，DN 40 CF-F，f.VSM79

VSM系列超高真空真空计

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