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日本filtec PP 褶皱过滤器 Polyclear
¥20000日本filtec疏水膜过滤器 Teflo Clear
¥20000日本filtec亲水膜过滤器 Omniclear
¥20000日本filtec过滤器完整性测试仪 WINTESS-D
¥15000komack三通密封件泄露检测仪LT25-A型 气体分析仪
¥20000komack四通密封件泄露检测仪LT25-A型 气体分析仪
¥20000komack袋灌装包装泄露检测仪LT25-A型 气体分析仪
¥20000komack袋灌装包装针孔检测仪LT25-A型 气体分析仪
¥20000日本komyokk便携式二氧化碳监测仪TG-01 一氧化碳检测仪
¥20000日本cemco便携式浊度计CT400
¥20000日本cemco手持式荧光溶解氧仪DO-02 水质分析仪
¥20000日本dkk溶解氧仪YPMS-48DO 水质分析仪
¥20000lintec快速响应质量流量控制器MC-7000
超快质量流量控制器,响应时间为200毫秒。
热传感器实现100msec(典型值)的高速流量控制。 Lintec的非接触式热流量传感器和压电控制阀可实现腐蚀性气体的超快速流量控制。
它具有1.0%的SP±流量精度的高精度,可以选择数字通信方式DeviceNet和EtherCAT进行。
超快流量控制 200 毫秒
准确度±1%SP
工作温度 5~50°C
金属密封件
清洁(保证颗粒)
环境温度补偿传感器
EtherCAT通信
设备网络™通信
在半导体制造过程中,需要在小型化的同时提高吞吐量。 即使在控制反应气体流量的质量流量控制器中,对缩短流量控制的启动(启动)时间的需求也在增加。 超高速质量流量控制器[MC-7000]是一种非接触式热流量传感器,不接触流量传感器和流量测量气体,实现200ms的超高速响应。 非接触式可实现腐蚀性气体流量测量的高速流量控制。
lintec快速响应质量流量控制器MC-7000
温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 低标准 | 最高 F.S. | 密封 |
5~50°C | 50kPa | 300kPa | ±1%自保 | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | 金 |