lintec以太网CAT质量流量控制器MC-5000C

用于 EtherCAT 通信的高性能质量流量控制器。

用于半导体工艺的高性能质量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合规的，可以通过EtherCAT通信进行控制，EtherCAT通信用于半导体制造设备的高速传输系统。

半导体制造工艺所需的金属密封件和LINTEC的原始环境温度补偿流量传感器作为标准安装，并且可以作为液化气支架等选项添加。

使用示例

EtherCAT通信设备的通信统一

越来越多的半导体制造设备配备了EtherCAT通信（数字I / F），用于高速控制机械臂等运输系统。 EtherCAT通信有65，536个节点，MFC的所有测量系统和运动系统元件都可以与EtherCAT通信统一。

lintec以太网CAT质量流量控制器MC-5000C

规格

* 规格表为具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过选项进行更改。