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日本filtec PP 褶皱过滤器 Polyclear
¥20000日本filtec疏水膜过滤器 Teflo Clear
¥20000日本filtec亲水膜过滤器 Omniclear
¥20000日本filtec过滤器完整性测试仪 WINTESS-D
¥15000komack三通密封件泄露检测仪LT25-A型 气体分析仪
¥20000komack四通密封件泄露检测仪LT25-A型 气体分析仪
¥20000komack袋灌装包装泄露检测仪LT25-A型 气体分析仪
¥20000komack袋灌装包装针孔检测仪LT25-A型 气体分析仪
¥20000日本komyokk便携式二氧化碳监测仪TG-01 一氧化碳检测仪
¥20000日本cemco便携式浊度计CT400
¥20000日本cemco手持式荧光溶解氧仪DO-02 水质分析仪
¥20000日本dkk溶解氧仪YPMS-48DO 水质分析仪
¥20000lintec以太网CAT质量流量控制器MC-5000C
用于 EtherCAT 通信的高性能质量流量控制器。
用于半导体工艺的高性能质量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合规的,可以通过EtherCAT通信进行控制,EtherCAT通信用于半导体制造设备的高速传输系统。
半导体制造工艺所需的金属密封件和LINTEC的原始环境温度补偿流量传感器作为标准安装,并且可以作为液化气支架等选项添加。
准确度±1%SP
金属密封件
清洁(保证颗粒)
环境温度保证传感器
EtherCAT通信
微流 F.S.
兼容液化气
宽
越来越多的半导体制造设备配备了EtherCAT通信(数字I / F),用于高速控制机械臂等运输系统。 EtherCAT通信有65,536个节点,MFC的所有测量系统和运动系统元件都可以与EtherCAT通信统一。
lintec以太网CAT质量流量控制器MC-5000C
温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 低标准 | 最高 F.S. | sdaM |
15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%自保 | 2~100%F.S. | 10SCCM | 300SLM | 金 |
* 规格表为具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过选项进行更改。