日本toel高压过程监测气体分析仪 XPR3

Transpector XPR3 是基于四极杆的下一代高压过程监测器。 尽管外观紧凑（总长度 237 mm），但它可以在从 2.6 Pa 到高真空的宽范围内使用。 不需要大型复杂的差速排气装置。

特点
●重新设计的离子源减少了污染物的影响，延长了使用寿命，并提供清晰的信号来自双离子源的一个离子流被送入四极杆过滤器进行分压测量，另一个离子流被发送到全压收集器。 这使得连续的总压力测量具有比离子碱更高的精度。 这改善了高压范围内的灵敏度损失，并以1.1 Pa为单位实现了测量精度。

●在PVD工艺压力下运行的新型EM（二次电子倍增管）可实现快速干净的数据收集，并且无需从FC更改为EM而便于数据转换
●新型扩展四极杆提高了低质量范围内的过滤性能和丰度灵敏度，以及氢气检测灵敏度

应用实例 

・PVD工艺模块

・预清洗模块

・脱气模块

双离子源经过改进，可最大限度地减少污染物的影响，从而延长离子源的使用寿命。

来自该双离子源的离子流之一被送入四极杆过滤器进行分压测量，另一个离子流被发送到全压收集器。 这允许以比离子计更高的精度连续测量总压力。

日本toel高压过程监测气体分析仪 XPR3

产品规格