产品名称

EQ-TM106膜厚监测仪

产品型号

EQ-TM106

主要特点

1、本机可与计算机连接。

2、显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM控制输出的百分比等工作状态。

3、通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置，并可将所测相关数据写入Excel文件。

4、具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。

技术参数

EQ-TM106-1监测组件

1、电源：DC  5V（±10%），电流400mA

2、频率分辨率：±0.03Hz

3、膜厚分辨率：0.0136Å（铝）

4、膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密度

5、测量速度：100ms-1s/次，可设置

6、测量范围：500000Å（铝）

7、标准传感器晶体：6MHz

8、计算机接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8，停止位：1，校验：无）

9、模拟输出：8比特分辨率，PWM脉宽调制输出（集电极开路或内部5V输出）

10、工作环境：温度0-50℃，湿度5%-85%RH，不得有冷凝水珠

11、外形尺寸：90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2显示仪

1、输入电源：AC 220V±10%

2、输出电源：DC  5V  3A

3、显示器：12×2数码管与LED

4、通讯端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8位，停止位：1位，奇偶校验：无）

5、外形尺寸：182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探头

1、适用晶片频率：6MHz

2、适用晶片尺寸：Ø14mm

3、安装法兰：CF35

4、冷却水管：Ø3mm，长度300mm、500mm、1000mm

5、冷却水压：<0.3MPa

6、气动挡板路管：Ø3mm

7、压缩空气压力：<0.8MPa，>0.5MPa

8、烘烤温度：通水状态<200℃，不通水状态法兰<100℃

9、电气接口：BCN插座

标准配件

1

EQ-TM106-1监测组件

1个

2

EQ-TM106-2显示仪

1台

3

EQ-TM106-3探头

1个