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日本AMAYA株式会社天谷制作所
连续常压CVD设备，用于批量生产兼容125mm方形和156mm方形的太阳能电池AMAX1000S
连续常压CVD设备，用于批量生产兼容125mm方形和156mm方形的太阳能电池
156 毫米方形 1500 张/小时吞吐量
采用SiC托盘防止重金属污染的对策，以及通过改善托盘支架防止背面环绕的措施
可以使用满足太阳能电池生产需求的超批量生产设备运输156mm x 156mm方形基板和125mm x 125mm方形基板。
我们开发了可实现批量生产的专用分散头，以及实现超高速输送的双臂输送机构。 此外，还增加了灯管加热机构，以实现超高速和晶圆温度均匀性。
我们开发了一种特殊的晶圆支架，用于高效加热太阳能电池的薄晶圆。
卸料器部分使用多级Bernui卡盘来分离晶圆和托盘，并且还具有冷却功能。
| 均匀的薄膜厚度 | ≦±10.0% |
|---|---|
| 支持的晶圆尺寸 | 156毫米方形，125毫米方形 |
| 气体种类 | SiH4，O 2， PH3， B 2 H6， N 2 |
| 薄膜沉积温度 | ~430°C |
| 生产力 | 1500张/小时 |
| 设备尺寸 | 1860毫米（宽） x 5900毫米（深） x 2100毫米（高） |
|---|---|
| 加热机构 | 电阻加热和灯加热 |
| 装载卸载 | 装载：卡盘，卸载：伯努利卡盘 |
| 分散头（气体喷嘴） | A63 长头（标准 3 头） |
