硅片充氮烘箱，半导体充氮烤箱概述

硅片充氮烘箱，半导体充氮烤箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构，全部采用无尘材料，箱内持续充氮，使烘箱工作室内处于洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温及时间控制装置，并附设有超温自动停电及报警电路，控制可靠，使用安全。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

特点

1、全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
2、耐高温，可以达到和工作场所同样的洁净等级；

技术参数

1、主要技术指标

Ø  温度范围： RT（室温）+10～200℃；

Ø  温度偏差：≤±2.0℃；

Ø  升温速度：≥2℃/min；

Ø  洁净等级：千级以上

Ø  计时功能：具有独立的计时器，计时开关，计时报警器

2、箱体结构

Ø  箱体材料：外箱采用优质冷轧板烤漆；

Ø  内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢；

Ø  保温材料：超细玻璃棉；

Ø  排 气 口：ф50；

Ø   隔 板：2层，不锈钢方通，承重约30KG；

Ø  空气循环装置：大容量轴流电机；

Ø  加热方式：不锈钢电加热器；

3、温控系统

Ø  温度测量传感器：Pt100 铂电阻；

Ø  控制仪表：日本富士温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；

Ø  超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；

Ø  控制系统：主要电器件均采用施耐德、欧姆龙等进口元气件