PECVD管式炉的主要特点：

　　1.气体预热——增加前端气体预热区，沉积速度更快，成膜效果更好；

 

　　2.AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控，协调控制——科探AIO控制系统；

 

　　3.管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。

 

　　4.智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力；

 

　　5.射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，自动运行；

 

　　6.炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可距离；

 

　　7.整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。

 

　　PECVD管式炉的使用安全性：

　　1、炉膛开启自动断电功能，使炉门打开后自动断电。

 

　　2、超温保护功能，当温度超过允许设定值后，自动断电及报警。

 

　　3、漏电保护功能，当炉体漏电时自动断电。以上功能确保了使用的安全性。