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珀金埃尔默ICP-MS测定硅晶片中的杂质(Mo 和 Cd)

时间:2020-12-31      阅读:146

由于许多重要的待测元素在使用电感耦合等离子体 质谱仪(ICP-MS)分析时会受到等离子产生的分子 和同质异位素的干扰(如:ArO+,ArH+,和Ar+), 因此对许多重要的待测元素的分析都很困难,这进 一步增加了分析硅杂质的难度和复杂性。通过向通 用池中通入适当的低流量反应气和使用*的动态 带通调谐(DBT)的功能,就能够在离子束进入四 级杆质谱前用化学方法将干扰去除,而这两个功能 都是PerkinElmer公司的NexION® 300 ICP-MS所兼具 的。

 

NexION 300 ICP-MS的另一个优点是能够一直在 强劲的高温等离子体状况下运行,从而有效分解样品 基质。此外,NexION 300 ICP-MS能够在一次分析运 行中,同时包括使用反应模式(使用反应气)分析和 使用标准模式(不使用反应气)分析的元素,这就不 需要分析两次样品或使用两种不同的等离子条件。仪 器的软件可以将两种模式(反应模式和标准模式)得 到的结果合并,并在一份报告中打印出来。

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