详细介绍

主动磁场消除

概述

Mag-NetX设计用于任何带电束仪器，是一种创新的主动控制系统，可补偿磁场波动。通过带数字接口的模拟控制器，Mag-NetX具有更实时的消振和连续监控功能，同时为用户提供了一个简单的内置LCD或基于PC的图形用户界面（GUI）。通过连续监控GUI显示的测量字段，可在不依赖于显微镜图像的情况下进行微调。另外，自动调整使典型SEM应用的启动变得更加简单。

亥姆霍兹型配置采用独立式笼，安装在室内墙壁轨道上或直接安装在外壳内部，可根据您的需求和应用配置Mag-NetX。

TMC可满足您的扫描和透射显微镜、电子束光刻和离子束仪器在磁场补偿和振动控制方面*苛刻的要求。

Mag-NetX的优势

带数字接口的模拟控制器 - 亥姆霍兹型线圈的模拟控制可实现更精确的实时消振。数字面板为用户提供简单的LCD读数或基于PC的图形用户界面（GUI）。

现场调整的灵活性 - 在启动时针对典型环境和应用进行自动调整，或针对更具挑战性的环境进行可调的现场调整。

实时监控 - 通过计算机GUI显示的测量字段进行连续监控，甚至可在不依赖于显微镜图像的情况下进行微调。

特点

●亥姆霍兹线圈对具有大的对称性和均匀性

●连续现场消振和监控

●有多种交流和直流消振模式

●100倍现场改进（典型值）

●动态、100 μs响应

●精确的现场测量

●具有连续系统监控和分析的图形用户界面

●可选的线路频率和谐波的前馈补偿

●可选的其他输入前馈功能

●可选的自定义字段创建，同时抑制干扰

●易于组装的不锈钢笼，也可提供室内壁安装式系统

●可提供任何尺寸的笼系统

●壁安装式和外壳安装式配置包括阻燃级电缆

性能

规格

系统
系统组件	3轴正交磁传感器、Mag-NetX控制器、笼内亥姆霍兹线圈对、外壳安装或壁安装式配置
主动磁场消除轴	X、Y、Z
传感器类型	磁通门型，噪声 <10 pT/>基数；Hz @ 1 Hz
大环境直流场（取决于传感器）	±70 μT标准可提供高达±250 μT
带宽（取决于笼和传感器）	直流，1 kHz典型值，*高可达2 kHz
动态范围（取决于笼和频率）	典型值±10 μT，*高±100 μT 典型值40 dB，大55 dB
控制体积与磁场磁通密度	50 m³ @10 μT RMS（取决于笼参数） 1 m³ @ 50 μT RMS（标准控制器能够通过特殊的笼结构消除地球磁场） 10 m³ @ 50 μT RMS（用于通过特殊的笼和外部放大器来消除更大体积的地球磁场）
传感器位置的场减少率使用36 x 36 x 52英寸/ 91 x 91 x 132厘米（长 x 宽 x 高）的典型笼；	直流100 Hz时的40 - 50 dB（100x - 300x）典型值 100-500 Hz时的26 dB（20x）典型值
典型电子显微镜柱体积 12 x 12 x 24英寸/30 x 30 x 60厘米中的场减少率使用60 x 60 x 84英寸/ 152 x 152 x 213厘米（长 x 宽 x 高）的笼	X、Y：直流100 Hz时的30 dB（32x）典型值 X、Y：100-500 Hz时的20 dB（10x）典型值 Z：直流100 Hz时的15 dB（5.2x）典型值 Z：100-500 Hz时的10 dB（3x）典型值 0 dB @ 1000 Hz

控制器
尺寸	17 x 9 x 1.75英寸/43 x 23 x 4.5厘米
操作模式	通电后： ●自动自检/校准，并在1分钟内切换到控制模式。无需用户参与。 ●手动测试/调试模式 ●真正的直流模式（补偿地球磁场） ●偏置直流模式（忽略地球磁场） ●跟踪显微镜运动零件引起的直流漂移 ●准直流模式（忽略> 100秒波动） ●取消和创建（同时取消干扰和创建自定义字段）
控制工具的类型	●数字控制增益的模拟反馈，DC - 2 kHz ●数字反馈 ●数字前馈（取消交流线路电源频率和谐波，而没有反馈的增益稳定性限制）
状态LED指示灯	绿色=正常；黄色=警告/错误
LCD 2x20符号显示	显示菜单和状态
条形LED指示灯	显示XYZ补偿场的实时强度
4个方向按钮	用于LCD菜单导航
USB插槽（在PC上显示为COM端口）	用于高级调整/测试的图形用户界面，接受ASCII命令和显示菜单
辅助模拟输入端（后DB-37）	可以用作前馈或创建自定义字段
通行和不通行信号继电器	二进制，用作受保护系统的输入端
电源要求	90-240 VAC，50/60 Hz，大500 VA。