飞纳台式扫描电子显微镜

——Phenom 版专业版

Phenom-World 公司于2014 年9 月在Prague 电镜年会上发布了飞纳电镜版Phenom XL， 该设备在继承飞纳电镜系列超高分辨、快速成像、简易操作、直接观测绝缘体、高度自动化、环境要求低、防震设计等优点的基础上，做出了如下改进，使其在拥有台式电镜操作简单等特点的下，同时具备大型落地式电镜的高分辨率、多功能和拓展性强等优势：

Phenom XL 电镜腔室由原来的32 mm 扩容为100 mm x 100 mm，一次可容纳至少36 个样品

自动马达样品台的移动范围为X = 50 mm，Y = 50 mm（可选配X=100 mm,Y=100 mm）

Phenom XL 提供高、中、低三级真空，可以选配二次电子探测器；

可拓展拉伸台，压力台，大角度倾斜台、高低温样品台等功能性选件；

飞纳台式扫描电镜—— 智能、高效、多功能

放大倍数：20×-100,000×

分辨率：优于20nm

电子枪：1500小时CeB6灯丝

抽真空时间：15秒

样品移动方式：自动马达样品台

样品定位方式：光学和低倍电子双重导航

样品导电性要求：无需喷金，直接观测绝缘体

拓展功能：3D粗糙度重建、纤维统计测量，高倍拼图等

温控样品台，可直接观测液体

表面细节丰富的高分辨率照片

Phenom(飞纳)Pro 为您提供高信噪比、表面细节丰富的优质图像；

2，20×-100,000×连续放大，分辨率优于17nm，大景深；

3，传统电镜往往通过提高加速电压来产生更高的信号，同时由于穿透深度较深，导致表面细节缺失。低加速电压电子穿透深度浅，避免样品被破坏，展现更多表面细节；

4，探测背散射电子，展现清晰形貌结构的同时，提供丰富的成份信息；

左图：5kV低加速电压下，电子反应区位于样品表面，配合高亮度CeB6灯丝，既保证了分辨率，又得到样品表面的信息；

右图：15kV高加速电压下，电子穿透深度较深，表面细节不明显

 CeB₆灯丝在样品表面单位面积内激发的信号约是钨灯丝的10倍，适合于低加速电压观测

表面形貌和成分信息同时展现成份模式：同时给出样品表面形貌与成份信息，不同元素可由其灰度对比度的不同加以分辨

成份模型	四分割背散射电子探测器扇区所得的信号相叠加。

形貌模式四分割背散射电子探测器扇区所得的信号相抵消

样品杯，30秒快速成像

Phenom（飞纳）样品杯、低真空设计、的真空封锁技术，装入样品后30秒内即可得到高质量图像，仅为传统电镜的1/10左右

直接观看绝缘体，无需喷金

Phenom（飞纳）采用低真空技术，出射电子与空气分子碰撞产生正离子，正离子与样品表面累积的电子中和，有效抑制荷电效应的产生，直接观测各种不导电样品（如下图所示）。

利用降低荷电效应样品杯，更可将开始荷电的放大倍数提高8倍左右，而且不会影响灯丝寿命，下图头发示例：

操作简便，全程导航

自动/手动聚焦

自动/手动亮度            

自动/手动对比度

自动灯丝居中调节

自动马达样品台

光学/电子样品导航

Phenom（飞纳）操作界面。通过点击右侧图标可以轻松完成图像缩放、聚焦亮度对比度调节、旋转等操作。界面右侧显示光学导航和低倍SEM导航窗口，方便用户在不同样品、不同区域间进行切换。

光学导航，所有带观测样品尽在视野之中，高倍下准确切换样品，只需点击感兴趣样品，即可自动移动到屏幕*

环境适应性高，*防震

Phenom（飞纳）可以放置在几乎所有的室内环境当中，无需超净间。采用灯丝、探测器、样品台相对一体化的设计，震动不会引起三者间的相对运动，使Phenom成像不受震动影响，可放置在较高楼层。

互联网远程检测

Phenom（飞纳）拥有远程检测功能，通过网络，专业工程师可随时为您远程检测系统、答疑解难，为您提供*的保护，让您的Phenom随时处于*工作状态。

丰富的拓展功能选件

适用于不同领域的样品杯选件

Metallurgical mount charge reduction sample holder，

降低荷电效应金相样品杯

降低荷电效应金相样品杯，在显微图像观测中，获得表面平滑样品的常规办法是镶嵌和抛光等技术。金相样品杯可用于观测镶嵌在树脂等材料中的样品。

Pin stub charge reduction sample holder

降低荷电效应样品杯

降低荷电效应样品杯，无需喷金，可以直接观察不导电样品，从而获得样品的原始形貌和成份信息。

1000x	2500x	4000x

Standard sample holder

标准样品杯测试结果

1000x	2500x	7500x

Charge reduction sample holder

降低荷电效应样品杯测试结果

Standard sample holder

标准样品杯

标准样品杯，适用于高分辨率成像，可用于观测粉末，薄膜，及各种不规则形状的三维样品。

Motorized Tilt and Rotation Sample Holder

自动倾斜/旋转样品杯

内置微型马达，计算机控制倾斜、旋转角度，为您呈现样品的隐藏特征，展现3D图像效果。

Temperature Controlled Sample Holder

温控样品杯

温控样品杯，自动控温，适用于生物、有机等样品，使样品减少水分的蒸发，得以保持原貌，并且减少电子束对样品的损伤，延长观看时间。

Micro Tool & Tilt-Rotation Sample Holder

微型工具样品杯

        制样过程

微型工具样品杯适用于钻头、锣刀、等长度较长，且有角度要求的样品成像。样品直接装进样品杯即可，无需其他辅助工具

Insert X-view

X-断面观测插件             

X-断面观测插件适合于涂层以及多层半导体器件等断口、断面的观测，且不需要螺丝等其它工具来固定样品

Insert Micro-electronics 

微型电子器件插件

微型电子器件插件采用特制夹具将微型电子器件无损的固定在样品杯中。测试后，样品可以重新回到制备环节中去，或者参与其他损耗检测。

简单制样程序