突破扫描电镜景深极限
时间:2020-12-31 阅读:474
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复纳科学仪器(上海)有限公司 -
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474次扫描电镜作为一种基础显微成像工具,因具有超高的放大能力,从而被高校、科研院所、材料研发和质量分析部门广泛用于研发、生产过程。
相比于光学放大器件,扫描电子显微镜使用电子束进行成像,放大、分辨能力比光学显微镜有非常大的提升。
图1 金相样品光学显微镜图像 (左) 和扫描电镜图像 (右)
Phenom 飞纳电镜开发了*的超景深成像模式。在该模式下,扫描电镜可以根据样品景深进行全视野扫描,并自动计算视野所有位置上可以获得清晰图像的工作距离,随后连续自动曝光,终得到理论景深无限制的扫描电镜图像。图 6 展示了超景深模式开启前和开启后的图像对比。
图6 超景深模式开启前后效果对比