525系列-CNC表面粗糙度和轮廓测量系统福建三丰代理技术参数 :

X1 轴
测量范围 : 200mm
分辨率 : 0.00625µm
检测方法 : 激光全息光栅尺
测量速度 : 0.02 - 0.2mm/s （表面粗糙度）0.02 - 2mm/s （形状/轮廓）
测量方向 : 向前／向后
直线度 : （0.1+0.0015L）µm 使用标准测针（0.2+0.0015L）µm使用二倍长型测针
直线度 : （0.05+0.0003L）µm 使用标准测针（0.1+0.0015L）µm使用二倍长型测针（CS-H5000CNC）
指示精度 （20ºC）: ±（0.3+0.002L）µm
指示精度 （20ºC）: ±（0.16+0.001L）µm
L 为驱动长度 （mm）
525系列-CNC表面粗糙度和轮廓测量系统Z1 轴
测量范围 : 12mm （使用标准测针）
24mm （使用二倍长型测针）
分辨率 : 0.004µm （使用标准测针）
0.008µm （使用二倍长型测针）
0.001µm （使用标准测针）（CS-H500CNC）
0.002µm （使用二倍长型测针）（CS-H500CNC）
测针上／下运作 : 弧形运动
检测方法 : 激光全息光栅尺
指示精度 （20ºC）: ±（0.3+I0.02HI）µm
指示精度 （20ºC）: ±（0.07+I0.02HI）µm
H 为测量高度 （mm）
测力 : 4mN （使用标准测针）
0.75mN （使用二倍长型测针）
跟踪角度 : 向上 60º, 向下 60º
（取决于表面粗糙度）
测针针尖 : 参见 L-22 页
测针方向 : 向下
Z2 轴 （立柱）
测量范围 : 300mm 或 500mm
*CS-H5000CNC : 仅 300mm
分辨率 : 0.05µm
检测方法 : 反射型线性编码器
0 - 50mm/s （操纵杆控制模式）
基座尺寸 （W x D）: 750 x 600mm
基座材料 : 花岗岩
超级轮廓测量装置Y 轴 *
测量范围 : 200mm
分辨率 : 0.05µm
0~50mm/s （操纵杆控制模式）
直线度 : 0.5µm/200mm
指示精度 （20ºC）: ±（2+2L/200）µm
L 任意两点间的长度 （mm）
尺寸 （W x D x H）: 800 x 620 x 1000mm
（800 x 620 x 1200mm: 高立柱型）
重量 : 240kg （250kg: 高立柱型）