X射线显微分析仪采用X射线荧光显微镜和电子探针X射线显微分析技术对样品进行X射线显微探针分析,继承了光学显微镜,X射线成像和X射线荧光谱技术测量元素。
X射线显微分析仪特点
显微测焦X射线管
毛细管透镜用于制作可变尺寸的X射线探针
视频相机方便选择分析区域
光学显微镜结合X射线探针
自动系统方便选择工作距离
自动XY样品台,方便定位和扫描样品区域
自动移动分析器件沿Z轴移动
探测器适合辐射成像研究
硅漂移探测器用于局部XRF荧光分析
内置自动系统水冷X射线管

X射线显微分析仪软件功能
局部元素分析元素分布elemental mapping研究
单样品标定校准
标准样品校准曲线
确定特定线的能量和强度
定量和半定量分析（基础参数方法）
光谱数据中的光谱比较和搜寻
自定义样品区域用于元素分布elemental mapping研究
光谱和绘图结果存储到数据文件
比较，背景扣除，均一化数据
重叠光谱绘图图像结果到光学和X射线图像上
自动分析用户定义的样品点


软件X射线成像功能
数字化亮度和对比度控制
变焦控制
测量图像两点的距离
数据存储功能
存储数据到数据库中
保存测量结果,输出成Windows系统中的其它格式
数字化图形
图像和程序打印