小型*是一款真正的全功能微型*，157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽7~9ns,重复频率250Hz/500HZ/750HZ,在248nm时激光功率高达8W，在193nm激光功率高达4W,采用超紧凑型48 X 26 X 26厘米、15千克、风冷封装。
小型*特点
内部法拉第笼确保超低电噪声
陶瓷/金属制造
寿命高达10亿次
固态开关
抖动2ns

小型*应用
•替代激光器
•电离源激光器
•紫外激光微加工
•精密激光标记
•准分子屈光手术
•拉曼光谱
小型*EX5规格
工作物质                       F2      ArF      KrF      XeCl      XeF
波长nm                         157      193      248     308       351
大能量mJ                 1.5/2.0*  12       20       8         6
峰值功率MW                0.25      1.75      2.5      1.0        0.75
平均功率W@250Hz   0.3/0.4   2.5      4.0      1.5         1.3
平均功率W@500Hz   0.5     5.0      8.0      2.5         2.4
重复频率                               250/500/750
动态气体寿命50%能量10E6     12E6    18E6  10E6    15E6
50%能量保存期            10天      15天   30天  2个月   30天
脉宽ns                                              7--9
稳定性                           <2%标准偏差
激光管寿命                        20亿脉冲
光束尺寸mm                      3X 6
发散角mRad全角度              1 X 2
冷却                                               空气/可选水冷
定时抖动                       2ns标准偏差
重量                             15kg 250/500Hz