这款紫外*是中功率准分子紫外激光器,适合脉冲激光沉积,调谐激光泵浦,脉冲激光电离,半导体激光处理,紫外激光微纳加工等应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽17~20ns,重复频率250Hz/500HZ/750HZ,248nm激光功率高达20W，193nm激光功率高达10W。
紫外*特征
•大功率*
•2ns低触发抖动
•*的脉间稳定性
•气体寿命长
•长寿命光学
•电晕预电离
•车载真空泵

紫外*应用
•替代激光器
•脉冲激光电离源
•微纳激光加工
•精密标记
•屈光手术
•拉曼光谱
紫外*EX50规格
工作物质                         F2     ArF        KrF       XeCl     XeF
波长nm                          157     193     248      308     351
大能量mJ                   2.5     35        50         22         20
平均功率W@250Hz     0.5     5         10          5          5
平均功率W@500Hz     1       10        20         10         10
动态气体脉冲寿命50%能量    15E6      25E6    35E6     30E6      30E6
静态寿命50%能量   15天     90天  120天   >1年    120天
重复频率                        250/500/750Hz
脉宽                        17-20ns
光斑尺寸                         9 x 4 mm         V x H
稳定性                        <2%标准偏差
发散角                            0.8 x 1.6 mRad    V x H
冷却                       空气250，500 Hz/水1000 Hz
激光管寿命                       >30亿脉冲
电源                       120 VAC, 5 Amp, 600 W
重量                              48kg