TPY-2型-自动椭圆偏振测厚仪-天津市拓普仪器有限公司手机版

产品简介

产品特点：仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。

详细介绍

产品详细资料

仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。
仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。

测量范围	薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10	偏振器方位角范围	0°-180°读取分辨率为0.05°
入射光波长	632.8nm	偏振器步进角	0.014°/步
入射角调节范围	20°- 90°精度≤0.05°	测量膜厚	±0.5nm
光学中心高	80mm	折射率重复性精度	±0.05
测量厚度zui小示值	≤1nm	仪器测量精度	±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时）
允许样品尺寸	φ10-φ140mm，厚度≤15mm	外形尺寸	580×390×320（mm）
度盘刻度	每格1度	主机重量	28kg

TPY-2实验主机、电控系统、USB接口、二氧化硅膜样片、配套软件

* 计算机及打印机（需另配）

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