气相/液相渗硅炉
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上海晨华科技股份有限公司
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用途:
底升式碳管烧结炉,底部出装料是理想的碳基材料气相、液相渗硅炉.
主要配置:
1.立式炉体,双层炉体结构,水冷夹套设计。
2.炉膛内石墨碳管发热体,保温层,测温、监测热电偶等组成。
3.出、装料盘装在炉底由电机驱动升降,便于出、装料。
4.PLC加触摸屏操作方式,有报警功能,自动化程序高,安全可靠
主要技术参数:
1.工作区:Ø300X500mm
2.高温度:2000℃
3.工作温度:1650℃
4.极限真空度:5X10-3Pa
5.保护气氛氮或氩气
联系方式
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