SMC常闭型高真空电磁阀 XSA 
●追加内螺纹型（Rc, NPT） [New]
●低使用压力：1×10-6Pa(abs)
●漏电量：内部1.3×10-9Pa·m3/s，外部1.3×10-11Pa·m3/s
●备有2种接头
●消耗电力：大削减25%
●质量：削减18% 0.5kg→0.41kg

作用编辑
1.开关气路，当阀1和阀4关闭，阀2打开时，机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空，气流流经预真空抽气管路；当阀2关闭，阀4打开时，机械泵可单独对扩散泵抽真空；当阀1和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器进行抽空，此时气流流经扩散泵。可见，阀门在这种操作中的作用是开关气路，改变气流的流经路线。

2.控制气流大小，调节真空度在图中，调节阀1的阀盖开启角度，即可调节流经管路的气流量大小；关闭阀2和阀4，通过放气阀3可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气；通过放气阀5可以调节容器内的真空度。
3.定量充气，在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞，当小洞转向右边和高压气瓶连通时，小洞中就可充满高压气体；当它转向左边和真空容器连通时，就把该体积的高压气体放进容器中去，这样就起到了定量充气的作用。

SMC常闭型高真空电磁阀 XSA