技术参数

1、电源：208V-240V AC，50Hz/60Hz单相，功率9KW（>60A保险）

2、炉体结构：双层莫来石钢构（不带水冷或风冷）

3、石英管：外径Ø110mm，内径Ø103mm，长380mm

4、样品架：76mm

5、加热元件：8根红外灯管，灯丝长200mm，丝圈Ø10mm，灯长300mm

6、恒温区：102mm×305mm，均匀性±5℃

7、热偶：K型热偶

8、温度：温度1100℃，额定温度1000℃（警告：在1000℃-1100℃下保温时间不超过600s，否则O型圈将被烧融）

9、控温精度：±1℃

10、升温速度：RT-800℃内50℃/s，800℃-1000℃内10℃/s

11、降温速度：60℃/min（在200mtorr下），117℃/min（在一个大气压下）

12、真空度：50mtorr（机械泵），10-4torr（分子泵）

13、真空法兰： 带有KF-D25高真空不锈钢法兰，配有两个高温O型圈密封

14、流量计：16ml/min-160ml/min

15、真空计：数字真空计，测量范围10mtorr-800torr（注意：此表在氮气下校准的，只有在氮气和空气下表上显示的实际压力，当通入任何其他气体时，必须参考说明书中的相对气体对照表，否则后果会严重）

16、水冷：如要求通冷却水，请确定冷却水流速3L/min、水温20℃、水压25PSI（建议采用循环水制冷器作为冷却系统）

1、内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率，同时可延长其使用寿命。

2、石英样品架固定在滑动法兰上，使样品装载更加容易。

3、样品架上放置76mm（3"）的AlN基片，承载需要退火的样品。AIN具有很高的热导率，可使样品放置的区域有很好的温度均匀性（±5℃）。

4、内插式热偶保证了温度的准确性。

5、采用PID自动温度控制，30段程序，并设有过热和断偶保护功能及自整定功能。