涡轮分子泵组CDK系列是德国伊尔姆公司新型的组合式分子泵，能产生5×10-7mbar以上的真空度，同时具体使用简单可靠的特点，被世界各地的用户广泛使用。它的主要特性如下：

1.    前泵与分子泵合为一体，不需要再另接前泵。

2.    前泵采用干式运行的隔膜泵，使整套CDK设备免维护，干式运行，体积小，重量轻。

3.    自动测量前泵产生的真空压力并自动启动分子泵，不需要附加装置和人为控制，前泵与分子泵的配合*自动化。
4.    配有给容器充气的充气开关。

5.    当达到一定的真空压力后，可选择自动关闭前泵，以节省电源，增加设备的使用寿命。

6.    采用自动空气冷却。

7.    结构特别紧凑，性能可靠。

8.    操作特别简单，只用一个总开关便可开关涡轮分子泵组。

型号        极限压力    流速    外形尺寸    重量    编号
        mbar    N2 / He / H2 (l/s)    mm    kg    
                        
                        
CDK240    220 V    5 × 10-7    49 / 40 / 54    193 / 344 / 400    13.7    101250
CDK240UHV    220 V    5 × 10-8    56 / 50 / 44    193 / 344 / 398    14.7    101251
CDK263    220 V    5 × 10-7    67 / 69 / 59    193 / 344 / 400    13.7    101252
CDK263UHV    220 V    5 × 10-8    67 / 69 / 59    193 / 344 / 400    14.7    101253