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大连市所在地
美国福禄克FPG8601微压活塞压力计特点:
电源要求 | FPG8601:85~264VAC,50/60 Hz,zui大60 VA |
VLPC:85~264 VAC,50/60 Hz,zui大70 VA | |
正常工作 温度范围 | 20~26℃ |
环境温度 稳定性 | 0.1℃/每分钟,zui大变化率 |
重量 | FPG8601平台:30 kg (66 lb) |
FPG8601 终端:2 kg (4.4 lb) | |
VLPC压力 控制器 | 41 kg (90.4 lb) |
尺寸 | FPG8601平台:53 cm 高×36 cm 宽×35 cm 深 |
FPG8601终端:12 cm 高×15 cm 宽×20 cm 深 | |
VLPC 压力控制器:31 cm 高×51 cm 宽×53 cm 深 | |
系统控制器 | 运行FPG Tools,Windows操作系统,RS232和IEEE-488接口,用于采集FPG和DUT的数据 |
全压力量程 | 0~15kPa表压、绝压、绝差压 |
测试介质 | 氮气或空气 |
模式转换 时间 | 绝压至表压模式:30分钟 |
表压至绝压模式:1小时 | |
振动 | 与传统的活塞式压力计相同,真空泵必须用软管连接 |
压力供给 | 回转式叶片泵:16.5 m3/h,极限压力为0.2 Pa VLPC压力源:700~800kPa,清洁、干燥的氮气 VLPC真空:10 m3/h @ 0.5 Pa 驱动气(FPG8601和VLPC):400~700kPa压缩空气 VLPC真空:10 m3/h @ 0.5 Pa 驱动气(FPG8601和VLPC):400~700kPa压缩空气 |
压力连接 | 测试高(FPG8601):KF16 测试低(FPG8601):KF16 真空参考(FPG8601):KF25 真空(FPG8601):1/8 in. NPT F 驱动/润滑(FPG8601):1/8 in. NPT F 压力源(VLPC):S1/8 in. NPT F 驱动(VLPC):1/8 in. NPT F 真空(VLPC):KF25 0~15kPa 表压、绝压、绝差压 监测仪器温度,并在温度变化的速率和大小对性能影响明显时,发出报警。 标准:0.010 Pa 高分辨力选件:0.001 Pa 标准:表压、绝差压模式:±(0.020 Pa + 30 ppm 读数) 绝压模式:±(0.025 Pa + 30 ppm 读数) 高分辨力选件:表压、绝差压模式:±(0.005Pa + 30ppm 读数) 绝压模式:±(0.008Pa + 30ppm 读数) 用涡轮分子泵:0.04~0.1Pa 用回转式叶片泵:0.3Pa~0.4Pa 表压模式:5个交叠的控制范围 zui小压力:0 zui小受控压力:0.1Pa 绝压模式:5个交叠的控制范围 zui小压力:0.4~1Pa zui小受控压力:2Pa 标准: 表压模式:±(0.020 Pa + 100 ppm量程) 绝压模式:±(0.020 Pa + 30 ppm量程) 高分辨力选件: 表压模式:±(0.005 Pa + 60 ppm量程) 绝压模式:±(0.020 Pa + 30 ppm量程) 注:控制精度为zui差情况。绝压模式在较低范围时的常数更小。 表压模式:zui高20 cc/侧(高和低) 绝压模式:zui高500 cc/侧(高和低) 压力稳定时间:1~2分钟,取决于测试容积 直径:35 mm 面积:10 cm2 碳化钨 碳化钨 非旋转,独立自定心,*供气,润滑压力 对称圆锥形间隙,双锥形,在*润滑点为6微米,在活塞末端为1微米 清洁、干燥的氨气或空气,内部调整为40~70 %相对湿度 表压模式:40 kPa表压 绝压模式:40 kPa 绝压 润滑气流量:< 1 sccm 至高和低压力室 |
辅助测量 | |
活塞-缸体 温度(℃) | 范围:0℃~40℃ |
| 分辨率:0.01 |
| 不确定度:±0.1 |
残留真空(Pa) | 范围:0Pa~13Pa |
| 分辨率:0.001 |
| 不确定度:±(0.5 % 读数+ 5MPa) |
监控测量 | |
润滑气体温度(℃) | 范围:0℃~40℃ |
| 分辨率:0.1 |
| 不确定度:±0.2 |
润滑气压力(kPa) | 范围:0~200绝压 |
| 分辨率:0.001 |
| 不确定度:±0.1 |
润滑气湿度 (%RH) | 范围:5~95%RH |
| 分辨率:1 |
| 不确定度:±10 |
主机型号 | 说明 |
FPG8601-SYSTEM* | 力平衡式微压活塞压力计系统 |
型号 | 说明 |
FPG8601-MODE-V-REF | 真空参考模式选件 |
FPG8601-RES-HIGH | 高分辨力选件(1mPa) |