8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR
8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR
8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR

GSL-1100X-8.5-SR8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-05-08 12:50:02
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沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品简介

8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR是三温区滑轨真空管式炉,可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。本机可在不同气氛下,在Z大6″的基片上生长多种薄膜。

详细介绍

 

产品型号

  8.5带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR

主要特点

  1双层壳体,配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能壳体温度<70℃。

  2滑轨式法兰结构,方便取放样品。

  3设有K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

  4采用PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。

  5右端法兰装载石英管堵,用以阻止热辐射;左端法兰上设有4片磨砂石英挡片,用于阻止热辐射。

  6已通CE认证。

技术参数

  1电源:单相220V  8KW

  2、石英管:外径Φ216mm,内径Φ208mm,长1300mm

  3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝

  4、加热区域:900mm

  5恒温区域3500mm

  6工作温度:zui高1100连续工作400-1000

  7、zui大升降温速率:10/min

  8、控温精度:±1

  9、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

  10热偶检测真空接口:KF-25口:1

  11进气接口:5路,精密不锈钢针阀密封

  12炉体:1300mm×680mm×920mm

  13滑轨:600mm

产品规格

  尺寸:1780mm×1780mm×1650mm重量:354kg

标准配件

1

  石英管堵

1

2

  KF-25真空挡板阀

1

3

  KF-40不锈钢波纹管

1

可选配件

  1软件接口模块和PC

  2K型热电偶(Φ6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准)

  3冷水机

  4、高速双极旋片泵

  5、数显真空计

  6、高真空机组(机械泵和涡轮分子泵)

  5、质量流量供气系统

  6、石英样品架

  7、可移动炉架(800mm×600mm

 

 

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