PS 10 MarSurf 2 µm

PS 10 MarSurf  5 µm

Marsurf PS10 C2

横向驱动，2微米探针

测量原则

探针法

输入

感应式滑动测头

测量单元

公制/英寸

测量范围

350 µm、180 µm、90 µm（自动切换）

350μm

轮廓分辨率

32 nm、16 nm、8 nm（自动切换）

8 nm

过滤器符合 ISO/JIS 标准

相位校正轮廓过滤器，符合 DIN EN ISO 11562 标准；过滤器，符合 DIN EN ISO 13565-1 标准；ls 过滤器，符合 DIN EN ISO 3274 标准（可脱离）

短行程符合 ISO/JIS

可选

扫描长度符合ISO 12085 (MOTIF)

1 mm, 2 mm, 4 mm, 8 mm, 12 mm, 16 mm

1 mm, 2 mm, 4 mm

根据 ISO/JIS 评估长度

1.25 mm、4.0 mm、12.5 mm

1.25 mm, 4.0 mm

采样长度数量符合 ISO/JIS

可选：1 至 5

可选: 1 至 16

探针

2 µm

5 µm

2 µm

测量力 (N)

约..0.7 mN

大约 0.7 mN

0.00075

校准功能

动态

动态

动态：RA、RZ、RSM

储量

多 15 个轮廓，多 20000 个结果

多 15 个轮廓，多 20000 个结果

多3900个配置文件，多500000个结果，多1500个PDF记录，可使用32 GB的microSD卡进行扩展

其他

锁定/密码保护，日期/时间

防护系统

IP 40

可充电电池

锂离子电池，小1200个测量值

宽范围电源

100 至 264 V

尺寸

160 mm x 77 mm x 50 mm