自动充气平衡精密隔振光学平台 自动充气光学平台

型号:HJ02-QPFS-2                       

自动充气平衡精密隔振光学平台 自动充气光学平台 

 名称 自动充气平衡精密隔振光学平台

主要参数:平面表面不平度小于0.10mm/㎡；

表面粗糙度：小于0.8um ；

固有频率：1.0Hz～1.8Hz；

振幅不大于：1.2um；

重复定位精度：±0.05mm；

载重：800kg

“自动充气平衡精密隔振光学平台”

参数要求：

平台规格（mm）：2000*1500*800；

支撑：4支撑；台面高度：200mm；

台面厚度： 8mm；

M6螺孔孔距25mm；

主要参数: 平面表面不平度小于0.10mm/㎡

表面粗糙度：小于0.8um

固有频率：1.0Hz～1.8Hz

振幅不大于：1.2um

重复定位精度：±0.05mm

载重：800kg