MEMS光栅采用了硅微加工工艺技术，在外力作用下使光栅的某些特征参数发生改变，从而实时改变光栅的工作性能，基于其*的优势，MEMS光栅已经用于光通信、高清显示设备、光谱分析等领域。功率放大器ATA-4012具有较高的电压输出、高频率响应，大范围驱动容性负载能力等优点，完*够满足驱动MEMS光栅测试的需求。

静电驱动的能量密度较小，当结构需要比较大的工作位移，就必须增大驱动电压，驱动电压甚至达到上百伏，当结构受静电力作用，由于机械结构*的惯性而产生弹性震荡，增大系统延迟。实际工作时，光栅等效电容会随光栅梁位移的改变而变化，导致驱动电路容性负载的变化。

MEMS光栅采用表面硅微加工工艺，通过加载驱动电压，每一个光栅梁单元都可以在静电力作用下通过引线连接实现编程控制，改变驱动电压就可以控制光栅梁的运动位移。ATA-4012功率放大器输出电压160Vpp（±80V），频率响应DC-1MHz范围内，功率160W，可驱动高压功率型负载。

高压功率放大器ATA4012产品的功能特点及优势：

大输出电压160Vp-p(±80V)

大输出电流2Arms

带宽（-3dB）DC~1MHz

压摆率500V/μs

电压增益数控可调

一键保存常用设置

可与主流的信号发生器配套使用

输入为BNC接口，输入电阻50Ω、5kΩ两档可选，*匹配高低内阻信号源。

输出为香蕉插座，大输出电压160Vp-p(±80V)，输出电流2Arms。

电压增益数控0~50倍可调，具体分为粗调（1step）和细调（0.1 step）两种。结合液晶面板增益的显示，能够快速调整至需要的电压值。

操作面板液晶显示，设备状态及参数动态显示，交互界面一目了然，简洁易懂。

高压功率放大器ATA4012检测口：1/100 Monitor：此端口电压为输出端口的1/100，监测口为BNC接头，可以直接连接到示波器进行输出电压的实时监测。

MEMS光栅测试是采用信号发生器对其动态性能进行测试，陶瓷电容代替光栅作为负载，MEMS光栅具有多种驱动方式，而静电驱动的MEMS光栅，由于其工艺易于实现、耗能低、频率响应高，因此是较常用的驱动方式