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XPR3 XP31-210010000 英福康销售维修中心介绍，INFICON的Pirani标准真空计PSG500和PSG502-S代表封装在坚固耐用小型管壳内的*的Pirani技术温度补偿提供快速与稳定的真空测量并消除了对大气压强反应慢的问题。坚固耐用的不锈钢传感单元更适用于半导体系统，以及常规用途如前级真空管道中。

特点

占空间小

任何方位安装

不锈钢测量单元的金属密封馈入件更佳化的温度补偿易于集成的对数讯号输出至10巴压力的高过压能力，用螺纹连接件烘烤型在法兰处可达到250°C易于更换的传感单元应用控制高真空电离真空计前级真空压强监测真空系统中的安全电路在中真空和粗真空范围内的一般真空测量与控制。

如何选择INFICON真空计

一，皮拉尼真空计

1.皮拉尼真空计原理

加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度

由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化

热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系。

2.衍生出两种类型的皮拉尼规

1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICONPSG500）2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）

3.气体的热传导，与下列提条件有关：

1，气体类型2，压力大小

4.皮拉尼真空计测量范围与精度

测量范围（空气，氧气，一氧化碳，氮气）：5x10-4至1000mbar

精度（氮气）：1x10-3…100毫巴±15%

5x10-4…1x10-3

毫巴±50%100…1000毫巴±50%

5.皮拉尼真空计的优特点

灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以更大的保护，大大延长了灯丝的使用寿命

6.皮拉尼真空计具体型号

101-S计PCG400PCG410PCG550规信号

7.皮拉尼真空计应用行业

光伏，镀膜，等离子行业控制，如PEG100经停产）与z1，与PSG500/PSG050基本相同，但因为具有通讯协zPSG050/051

zPSG100-SPSGzPSG500/500-SPSG502

z皮拉尼电容膜片复合真空1.有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起2.两种原理的规管全过程都工作

3.100mbar—1000mbar使用薄膜4.1mbar–100mbar两规信号同时采用5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信号6.输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃z各种高真空泵的前级压力测量，如z各种中低真空测量，如照明，冶金

z真空连锁控制，高真空计的点火开关zPSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR216z

PCG400PCG410（现在已升级为PCG550，PCG400/PCG410已PSG500基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用

PSG100PSG10议功能，在大系统中应用广泛。

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