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产品简介: VTC-200-4P 红外加热喷雾旋转涂膜机、 匀胶机、 显影机、 甩胶机、 旋涂仪、 spin coater 主要用于半导体工艺、制版工艺过程中图形的显影及表面涂覆工艺, 是一款上盖可 以加热的匀胶机、 显影机,在匀胶或显影过程结束后使用加热功能使胶体薄膜中的溶剂继续 蒸发到含量。 工作过程中显影液或胶体以雾状喷到样片上,使溶液在样片表面均匀分布, 有利于薄膜和显影过程的顺利进行。 本机电机部分、 温度控制部分、 注液部分分别使用独立 电源进行控制,电机调速系统则采用了抗干扰性高的 PLC 进行控制,转数在 100-2000RPM 范围内可调。 涂膜机在工作时设有两个阶段,在启动前根据实际需要进行设置。 VTC-200-4P 红外加热喷雾旋转涂覆机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、显影机、 spincoater 启动快速、转 数稳定,可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。 对于样件的固定,采用橡胶吸盘和磁力钢片模板,不仅样件取放自如,而且操作简便。 此外,在安装结构上,采取了减震措施,降低运 转时的噪音。
产品型号 | VTC-200-4P 红外加热喷雾旋转涂覆机、匀胶机、显影机、甩胶机、旋涂仪、 spin coater |
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25℃±15℃ ,湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水:设备配有进出水口 2、电: AC220V 50Hz,必须有良好接地。 3、气:不需要 |
| 4、工作台: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kgs 以上 5、通风装置:需要 |
主要特点 | 1、 采用橡胶吸盘和磁力钢片模板固定样件,不仅样件取放自如,而且操作简便; 橡胶吸盘和磁力钢片模板大小可根据需要进行定制。 2、 该机上盖具有红外加热功能,可以使温度保持在一个稳定值。 3、 本机上盖具有 4 组喷嘴,可使胶体以雾状喷在样片表面,使薄膜更均匀。 4、电机部分、 温度控制部分、 注液部分分别使用独立电源的方式,电机调速系统 则 采 用 了 抗 干 扰性高 的 PLC 进 行 控 制, 数 值显示 更 直 观可 靠, 转 数 在 100-2000RPM 内可调。 5、涂膜机在工作时设有两个阶段,在启动前根据实际需要, 可分别进行时间 1、 转速 1、时间 2、转速 2 的设置。 设置完成启动后,涂膜机先以转速 1 在时间 1 时间内运转,使涂膜物质逐渐分散开。 当时间 1 时间结束时,涂膜机自动进入 时间 2 时间阶段运转,使涂膜物质更加均匀。 |
| 6、喷雾旋转涂覆机启动快速、转数稳定,可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。 7、在安装结构上,采取了减震措施,降低运转时的噪音。 8、腔体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂 性能;机身采用铸铝结构,结实耐用且质轻。 |
技术参数 | 1、 电源: AC220/110V、 50/60Hz 2、 电机功率: 功率 210W 3、双转速涂膜功能:双转速及涂膜时间分别设置, 在启动后先低速运转(滴涂胶 液),然后自动转换到高速运转(匀胶)。转速稳定(±1%),涂膜物质均匀。 转数 1: 100-2000 RPM 有效 时间 1: 1--200s 有效 转数 2: 100-2000 RPM 有效 时间 2: 1--200s 有效 4、 适用于 Φ153mm样件涂膜。 5、上盖加热温度范围: 0-100℃。 6、环境温度 5-40℃,相对湿度不大于 85%RH,设备周围无强烈震源和腐蚀气体影 响。 |
规格尺寸 | 主机外形尺寸 500mm (长) ×410mm (宽) ×330mm (高), 重量 24Kg。 |
标准配件 | 1 | 磁性钢片模板(Ф160mm) | 1 件 |
2 | 吸盘(Ф153mm) | 1 件 | |
3 | 温控箱 | 1 台 | |
4 | 蠕动泵 | 6 台 | |
可选配件 | 橡胶吸盘 | ||
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