SuperView W1光学3D表面轮廓仪

SuperView W1光学3D表面轮廓仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-04-15 13:50:01
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上海伊丰精密仪器有限公司

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产品简介

SuperView W1光学3D表面轮廓仪 产品型号：SuperView W1产品名称：光学3D表面轮廓仪影像系统：10241024（20482048，25921944可选）光学Zoom：1，（0.75，0.5可选）干涉物镜：2.5，5，10，20，50XY平台：尺寸320200mm，行程140110mm，电控XY横向分辨率：0.4mZ轴行程：100mmZ向分辨率：0.1nm单次Z向扫描范围：10.3mm，厚度重复性1nmZ向扫描速度：45m/s可测样品高度：100mm可测样品反射率：0.05%-水平调整：5粗糙度RMS重复性：0.005nm台阶高测量：准确度＜0.7%，重复性＜0.1% 1主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效......

详细介绍

物镜倍率

2.5×

5×

10×

20×

50×

数值孔径

0.075

0.13

0.3

0.4

0.55

可测样品角度

4.3°

7.5°

17.5°

23.5°

33.4°

光学分辨率@550nm（µm）

3.7

2.1

0.92

0.69

0.5

焦深（µm）

48.6

16.2

3.04

1.71

0.9

工作距离（mm）

10.3

9.3

7.4

4.7

3.4


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