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| 评定参数 | |
| 评定参数 | Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
| 测量范围 | |
| Z轴 | 800μm |
| X轴 | 50mm |
| 直线度精度 | |
| 直线度精度 | 0.4μm |
| 分辨率（Z轴） | |
| 分辨率（Z轴） | 0.001μm |
| 采样数/分解能 | |
| 采样数/分解能 | 9600点/16bit |
| 滤波器 | |
| 滤波器 | 高斯(Gaussian)滤波器（ISO11562:1996），2RC滤波器 |
| 取样长度 | |
| 取样长度 | λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm） |
| 截止波长 | |
| 截止波长 | 0.25,0.8,2.5 |
| 测量速度 | |
| 测量速度 | 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s |
| 返回速度 | |
| 返回速度 | （自动） 1mm/s |
| 示值误差 | |
| 示值误差 | ±5% |
| 示值稳定性 | |
| 示值稳定性 | 3% |
| 测量重复性 | |
| 测量重复性 | 3% |
| 图形放大倍率 | |
| 图形放大倍率 | 10-500000自动调整 |
| 传感器 | |
| 传感器 | 针尖 R=2μm钻石（测量力1mN） |
| R=5μm钻石(测量力4mN） | |
