Inprentus可为EUV应用提供定制的主光栅，在这些应用中，优化光学效率、仪器紧凑性和性能是下一代处理实验室的任务。Inprentus 能够利用高可变线间距 (VLS) 制造具有强聚焦能力的衍射光栅。这使得光斑尺寸更小，工作波长的光线更明亮。衍射光栅可在设计波长内外使用，具有多种尺寸和规格，可实现紧凑型仪器设计和升级。Inprentus 还与客户密切合作，在光栅母版中提供定制的炽热角，以便在现有仪器或下一代仪器升级中实现直接替换。

现代化的衍射光栅机械固定方法

效率高和聚焦效果好

利用高可变线间距（VLS）制造具有强聚焦能力的衍射光栅

优化减小光斑尺寸

可在设计波长内外使用

实现紧凑型仪器设计和升级

提供定制的炽热角

产地：美国

炽热角：0.1° 到 80° 不等

VLS - 可变线间距 (VLS)

埃歇尔光栅类型：埃歇尔光栅

判读：在凹面、环面、椭圆面等曲面基底上进行

分辨率：超过 100,000（取决于其他规格）

基底和涂层：高损伤阈值

尺寸： 500 x 200 毫米

线密度：50 到 3000 升/毫米

表面：硅或熔融石英基底的镀金（Au）

单色仪、反射仪、散射仪等，光发射光谱、X 射线和紫外线衍射光学以及各种激光光学应用。