英国牛津Cryo-Plex 16 低温泵
灵活配置对需要洁净、无油的高真空排气方案的大型箱式镀膜、空间模拟、电子束沉积等诸多应用来说，Cryo-Plex 16 低温泵是一个典型配置。
ISO、CVC等法兰接口
标准设计
Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换，从而大大方便使升级、维修、交换等服务。
| Cryo-Plex 16 | |
| Gas pumping speeds - liters/second | |
| Water | 16,000 |
| Air | 5,000 |
| Hydrogen | 5,000 |
| Argon | 4,200 |
| Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr | |
| Hydrogen | 15 |
| Argon | 2,500 |
| Throughput | |
| Argon sccm | 500 |
| Crossover | |
| Torr-lites | 300 |
| Cool down time | |
| 60 Hertz | 150 min |
| Cryopump measurements | |
| Height | 24" |
| Length | 22.6" |
| Inlet flange | ISO/CVC |
相关下载
Austin Scientific brochure
Cryopump Catalogue
