英国牛津Cryo-Plex 8 低温泵在生产或者研发领域里的洁净、无油的高真空系统,Cyro-Plex8低温泵是标准配置,且*。
灵活配置典型应用:溅射、离子注入、表面分析、粒子加速器、研发型的钟罩式系统,以及其他的真空系统
ANSI、ISO、CF等多种法兰接口
标准设计
Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换,从而大大方便使升级、维修、交换等服务。
Cryo-Plex 8 | |
Gas pumping speeds - liters/second | |
Water | 4,000 |
Air | 1,500 |
Hydrogen | 2,500 |
Argon | 1,200 |
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr | |
Hydrogen | 18 |
Argon | 1,000 |
Throughput | |
Argon sccm | 700 |
Cool down time | |
60 Hertz | 90 min |
Cryopump measurements | |
Height | 20.7" |
Weight LBS | 45 |
Inlet flange | ANSI/ISO/CF |