光离复合废气处理设备集合了等离子和光催化的优点，优势互补，而且两者之间能够起到协同作用，克服双方存在的缺点，相互促进，因而对空气污染物具有优良的去除效果。

  研究表明光离复合技术具有废气净化效率高、能耗低、适应性广、光催化剂自动活化等优点，在去除有机废气中显示非常好的效果，是一项非常值得研究和具有广泛应用前景的技术。然而等离子体光催化协同净化技术的研究刚刚起步，研究成果不多。

  挥发性有机物(VOCs)是一类比较难降解的气体，尤其是苯系物，传统的方法不但降解率较低而且极易产生二次污染。许多研究证明利用等离子体光催化技术处理后则能使之迅速降解，并且基本无二次污染，处理效率比单一的等离子体技术和光催化技术都有明显的提高。

  光离复合废气处理设备能有效去除室内空气中的氨、有机物;结果表明只有等离子体会产生大量的臭氧和一氧化碳，对人体非常有害，而当加入催化剂后臭氧出口浓度下降了10倍，CO出口浓度下降5倍。

  光离复合技术是一种非常好的去除空气中污染物、增加空气离子的方法。将气体放电等离子填充床反应器与纳米TiO2光催化剂相结合，以气体在介质表面放电产生的紫外线为光催化材料的驱动力，将等离子与光催化两种技术相结合来提高反应器的去除效率。